利用半導體材料擴散硅制成的壓力傳感器,具有靈敏度高,動態(tài)效應,測量精度高,穩(wěn)定性好等特點。壓力傳感器的一個主要問題是溫度補償問題。由于溫度對壓力傳感器的靈敏度已經(jīng)測量精度有很大的影響,所以對壓力傳感器進行溫度補償很有必要。
對壓力傳感器進行溫度補償?shù)姆椒ù篌w上有兩種,一種就是在組成惠斯通電橋的四個電阻中,在相應的橋臂上串、并聯(lián)上一定阻值大小的電阻,用以平衡因四個擴散電阻隨溫度變化而變化的溫度漂移。還有一種方法是在電橋外殼完成補償?shù)?,補償原理的在電橋電路外借助其它的電路和元件來對傳感器的輸出信號進行調(diào)理,并兼顧對壓力傳感器的溫度漂移進行補償,使傳感器的輸出信號變松為所需要的有效信號。當然還有的一些其它的方法比如適當提高擴散硅表面雜質(zhì)濃度,可以減小溫度系數(shù),進而減小溫度漂移。但是,過高的雜質(zhì)濃度會降低傳感器的靈敏度。所以這種方法只能進行微調(diào)。為壓力傳感器進行溫度補償主要還是依賴前面兩種方法。
是否對壓力傳感器進行溫度補償已經(jīng)對壓力傳感器溫度補償是否到位很大程度的影響了壓力傳感器性能及其使用。所以在設計壓力傳感器的時候一定要對壓力傳感器設計溫度補償。